Комплекс «Нанофаб 100», НТ МДТ (Россия)

 
Комплекс предназначен для проведения процессов ионно-лучевого травления с помощью остросфокусированного ионного пучка, а также наноманипуляций с помощью зондовых методов.

Характеристики модуля ФИП (фокусированных ионных пучков):

• мин. диаметр пучка (Ga) – 10 нм;
• рабочее поле – 300 х 300 мкм;
• энергия пучка – от 3 до 30 кэВ;
• ионный ток – от 1 пА до 20 нА.

Характеристики модуля АСМ (атомно-силовой микроскопии):

• диапазон измерений в плоскости XY – 90 мкм;
• диапазон измерений в плоскости Z – 10 мкм;
• разрешение АСМ в плоскости XY – менее 0.1 нм;
• разрешение АСМ в плоскости Z – менее 0.15 нм.