Сверхвысоковакуумный атомно-силовой микроскоп

 
Прибор предназначен для сверхвысоковакуумных исследований свойств поверхности зондовыми методами с ультравысоким разрешением, в том числе в области сверхнизких температур.

Основные характеристики и возможности:

• разрешение СТМ, АСМ – атомарное (на стандартных образцах Si);
• диапазон сканирования – XY – 3x3 мкм, Z – 2 мкм;
• измерение туннельного тока – от 30 пА до 1 мкА;
• диапазон измерения сил – от 10 пН до 10 нН;
• система ионной очистки – Ar и др. газы;
• система охлаждения образца – до 50 К;
• осаждение пленок туго- и легкоплавких металлов in-situ (Au, Ag, Cu, Al, Ti, W и др.).