Система предназначена для проведения процессов жидкостной обработки пластин, а также кусков пластин в органических растворах.
Основные характеристики и возможности:
вытяжная система;
возможные процессы промывки и очистки пластин: ацетон - изопропиловый спирт - деионизованная вода;
возможные процессы проявления и удаления электронных и фоторезистов: широкий спектр проявителей и органических растворителей от производителей электронных и фоторезистов;
возможные процессы взрывной литографии: широкий спектр органических растворителей и растворов для снятия электронных и фоторезистов.