Вытяжные системы для работы с неогранической химией

 
Системы предназначены для проведения процессов жидкостной обработки пластин диаметрами 100 и 200 мм, а также кусков пластин. В процессы жидкостной обработки входят: жидкостная отмывка поверхности и травление пластин в растворах кислот и щелочей.

Вытяжные системы разделены на две подсистемы: для ионсодержащих материалов и для неионсодержащих материалов, которые представляют собой отдельностоящие установки.

Основные характеристики и возможности:

• ламинарный поток воздуха с HEPA фильтрами;
• ванны для работы с кислотами и щелочами;
• возможные процессы промывки пластин: SC-1 (NH₄OH, H₂O₂, H₂O), очистка в HNO₃ (HNO₃, H₂O), Пиранья (H₂SO₄, H₂O), промывка в деионизованной воде (QDR);
• возможные процессы травления пластин: изотропное травление кремния (HNO₃, H₂O, NH₄F), анизотропное травление кремния (КОН), травление оксидов (HF, BHF), травление нитридов (H₃PO₄), травление золота (HNO₃, HCl), травление алюминия (H₃PO₄, HNO₃, CH₃COOH);
• обработка пластин 100 и 200 мм, а также кусков пластин;
• ванна быстрой промывки QDR для одновременной промывки до 5 пластин;
• функция подачи пузырей в ванну деионизованной воды;
• нагревательные плиты с диапазоном изменения температур от 50 до 500 ^оС с шагом 10 ^оС;
• возможность быстрой сушки пластин;
• в одной из систем установлен модуль для травления пластин 100 и 200 мм в парах плавиковой кислоты для удаления жертвенного окисла, с безопасным держателем пластин и контролем температуры на держателе.