Оборудование

Уникальный комплекс оборудования, включающий электронно-лучевую, лазерную и оптическую литографию, осаждение тонких пленок, плазмохимическое, жидкостное, паровое травление и очистку широкого спектра материалов, бондинг пластин и все необходимые контрольно-измерительные методы, а также возможности исследования новых материалов и пробоподготовки