
Разработан микрофлюидный безмембранный датчик теплового потока для микрофлюидики
Точность устройства на уровне мировых лидеров - не хуже 5% в диапазоне 0-30 мкл/мин.
Тип пластины | Тип пленки | Шероховатость | Оптические |
Площадь покрытия, мм
| Толщина слоя металла, нм | Геометрия слоя |
Тип: Si <111>
Ориентация: <111>±0.2˚
Показатель преломления (λ=628 нм): 3.91
|
Ag 99,999%
Ориентация: <111> (FWHM <0.3˚ ω-скан XRD)
|
(2,5х2,5 мкм2): 0.08 нм
(50х50 мкм2): 0.51 нм
|
ε’’<0.3 для λ=400..700 нм
ε’’<0.8 для λ=700..1000 нм
| 20х20 | 35-1000 | img |