Завершена сертификация чистокомнатных помещений

Совместно с российскими и швейцарскими партнерами проведена сертификация чистокомнатных помещений НОЦ ФМН. Подтверждены протоколами испытаний проектные классы чистоты технологических участков центра 100—1000 (от ISO5 до ISO6), в наиболее ответственных зонах размещения литографического оборудования в результате сертификации подтвержден класс чистоты 10 (ISO4).