Технологии интегральной фотоники НОЦ ФМН на OPAL 2021

Команда НОЦ ФМН приняла участие в 4-й Международной конференции по оптике, фотонике и лазерам (OPAL 2021). Представители группы нанофотоники Евгений Сергеев и Кирилл Бузаверов представили свои разработки в рамках постерной сессии.

Постеры ребят были посвящены технологиям создания фотонных интегральных схем (ФИС) с малыми потерями, которые сегодня активно разрабатываются в НОЦ ФМН.

Кирилл Бузаверов сделал акцент на возможности снижения потерь путем устранения шероховатости боковых стенок волноводов. Один из способов снижения шероховатости – оптимизация параметров процесса реактивного ионного травления. Евгений Сергеев посвятил свой доклад нюансам электронной литографии, а именно подбору проводящего полимера и оптимизации параметров экспонирования (размер пятна электронного луча, шаг и алгоритм экспонирования, использование многопроходного режима и прочее). Проведенные и представленные командой эксперименты с параметрами технологических процессов позволили определить оптимальные значения для создания ФИС с малыми потерями.

НОЦ ФМН сегодня обладает технологией изготовления ФИС с потерями около 0,5 дБ/см на длине волны 925 нм. Данный уровень потерь соответствует мировым показателям.

***

Международная конференция OPAL '2021 включила три симпозиума, охвативших широкий спектр вопросов оптики, фотоники и лазеров, и стала удобной площадкой для обмена идеями и представления последних достижений в этих научных областях.

Подробнее о конференции можно прочитать на сайте форума.