ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ 
В России запустили технологию передовых чипов сверхпроводниковых квантовых компьютеров
Добротность российских танталовых чипов достигает десятков миллионов
Получены первые тестовые структуры с разрешением 10 нм
16 октября 2015 года
Получены первые структуры с разрешением 10 нм с применением установки электронно-лучевой литографии VOYAGER.
В ходе приемо-сдаточных испытаний в лаборатории НОЦ Функциональные Микро/Наносистемы изготовлены одиночные и групповые тестовые структуры с разрешением 10 нм.
