Новый супергерой Вселенной НОЦ ФМН: ZEISS Crossbeam 550

В Чистой комнате НОЦ ФМН пополнение: установлен новый электронно-ионный микроскоп ZEISS Crossbeam 550. Благодаря Crossbeam 550 специалисты НОЦ ФМН и кафедры «Электронные технологии в машиностроении» МГТУ имени Н.Э. Баумана смогут с высочайшей точностью (до 0,7 нм) создавать и исследовать новые изделия и технологии. С новым метрологическим оборудованием перспективные разработки студентов и аспирантов МТ-11 в области тонкопленочных покрытий, микро- и наноструктур выйдут на качественно новый уровень.

Crossbeam 550 – флагман линейки электронно-ионных микроскопов ZEISS. Установка обеспечивает возможность исследования новых изделий и технологий, а также изображает поверхность любых объектов с нанометровым разрешением.

В перспективе, Crossbeam 550 может быть дооснащен ионной колонной для формирования трехмерных нанообъектов. В частности, инженеры МГТУ смогут в течение нескольких минут изготавливать однородные срезы образцов толщиной 10 нм, а также препарировать поверхности с точностью 3 нм по вертикали. 

С использованием ионной колонны Crossbeam 550 сможет исследовать газящие и разрушающиеся под действием радиации образцы — полимеры, химические вещества, суспензии — при низких ускоряющих напряжениях в 20В. Это увеличивает поверхностную чувствительность, уменьшает зарядку непроводящих образцов и повреждение чувствительных к пучку электронов образцов. В результате микроскоп исследует диэлектрические образцы с нанометровыми областями интереса без предварительной пробоподгототовки, что также ускоряет процесс ионной резки.

Дополнительная информация о возможностях ZEISS Crossbeam 550 доступна на сайте производителя.