Эволюционный рост тонких пленок серебра для нанофотонных устройств с малыми потерями
Команда ученых и инженеров НОЦ ФМН разработала новый подход к электронно-лучевому испарению тонких пленок серебра со сверхнизкими потерями на прозрачных подложках. Процесс основан на самокристаллизации и ранее не использовался для тонких пленок аморфного серебра.
Ключевой особенностью нашего подхода является правильное определение температуры осаждения и времени нагрева до комнатной температуры. Температуры осаждения определяет начальный размер кристаллита аморфоной пленки. При этом время нагрева до комнатной температуры определяет время, фактически, самопроизвольной кристаллизации, поскольку поступающая энергия нагрева очень мала. Команда продемонстрировала пленки серебра толщиной 100 нм с шероховатостью поверхности менее 1,5 нм и средним размером кристаллитов более 0,5 мкм, которые занимают более 80 % всей поверхности пленки.
Данные публикации:
Evolutionary selection growth of silver films for low-loss nanophotonic devices
Aleksandr S. Baburin, Dmitry O. Moskalev, Evgeniy S. Lotkov, Olga S. Sorokina, Dmitry A. Baklykov, Sergey S. Avdeev, Kirill A. Buzaverov, Georgiy M. Yankovskii, Alexander V. Baryshev, Ilya A. Ryzhikov, Ilya A. Rodionov
Surfaces and Interfaces, volume 39, July 2023, 102897 (ImF 6,137)
https://www.sciencedirect.com/science/article/abs/pii/S2468023023002675?via%3Dihub