Установка предназначена для анализа рельефа, доменной структуры, емкостных свойств микро- и нано- структур методами АСМ, исследования оптических свойств поверхности с разрешением до 30 нм методом СБОМ, элементного анализа материалов методами конфокальной микроскопии комбинационного рассеяния, оценки распределения веществ по поверхности, исследования плазмонных и других свойств поверхности методом зондового усиления комбинационного рассеяния света и флуоресцентной спектроскопии.
Характеристики модуля оптической микроскопии:
оптическое разрешение – 400 нм;
фокусное расстояние объектива – 2 мм.
Характеристики модуля АСМ (атомно-силовой микроскопии):
диапазон измерений X × Y × Z – 100 мкм × 100 мкм × 7 мкм;
разрешение АСМ в плоскости XY – менее 0.1 нм;
разрешение АСМ в плоскости Z – менее 0.15 нм.
Характеристики модуля конфокальной микроскопии КРС (конфокальной рамановской микроскопии) и СБОМ (сканирующей ближнепольной оптической микроскопии):