Наименование услуг

Единица измерения

Цена (тариф) за единицу измерения, включая НДС, руб.

Инфракрасный эллипсометр. Проведение исследования.

час

2 189,81

Сверхвысоковакуумный сканирующий зондовый микроскоп с комплектом эл-в. Типовое исследование.

час

4 817,21

Сверхвысоковакуумный сканирующий зондовый микроскоп с комплектом эл-в. Исследование при крио температурах.

час

5 207,25

Сверхвысоковакуумный многокамерный нанотехнологический комплекс. Исследование методом СЗМ.

час

6 339,56

Сверхвысоковакуумный многокамерный нанотехнологический комплекс. Травление фокусированным ионным пучком.

час

7 072,30

Зондовая нанолаборатория. Исследование методом СЗМ.

час

3 074,85

Зондовая нанолаборатория. КРС исследования.

час

3 362,35

Зондовая нанолаборатория. СБОМ исследования.

час

3 202,63

Система сверхвысоковакуумная для проведения послойного анализа выращенных гетероструктур. Поверхностный химический и элементный анализ.

час

3 401,07

Междисциплинарная научно-учебная лаборатория электронно-оптической микроскопии. Проведение измерений.

час

3 290,82

Анализатора размеров частиц лазерной дифракционный. Проведение измерений «Сухим» или «жидкостным» методом (дионизованная вода).

час

1 823,73

Анализатора размеров частиц лазерной дифракционный. Проведение измерений «жидкостным» методом (изопропиловый спирт).

час

2 513,73

Установка для нанесения твердых покрытий вместе с технологией. Обработка образца.

час

3 444,11

Комплекс оборудования для оснащения учебных лабораторий в области инженерных и естественных наук по распределенным сенсорным системам. Формирование тонких пленок (с материалами заказчика).

час

7 739,78

Комплекс оборудования для оснащения учебных лабораторий в области инженерных и естественных наук по распределенным сенсорным системам. Формирование пленки хрома.

час

7 832,97

Комплекс оборудования для оснащения учебных лабораторий в области инженерных и естественных наук по распределенным сенсорным системам. Формирование пленки алюминия.

час

7 808,83

Комплекс оборудования для оснащения учебных лабораторий в области инженерных и естественных наук по распределенным сенсорным системам. Формирование пленки титана.

час

7 975,12

Комплекс оборудования для оснащения учебных лабораторий в области инженерных и естественных наук по распределенным сенсорным системам. Формирование пленки оксида кремния.

час

7 820,60

Комплекс оборудования для оснащения учебных лабораторий в области инженерных и естественных наук по распределенным сенсорным системам. Формирование пленки оксида циркония.

час

7 838,91

Комплекс оборудования для оснащения учебных лабораторий в области инженерных и естественных наук по распределенным сенсорным системам. Дегидратация и обработка в парах ГМДС образца.

час

2 204,23

Лазерный генератор изображения. Обработка образца.

час

2 931,46

Установка контактной литографии и совмещения для бондинга. Экспонирование образца.

час

7 797,24

Стенд экспериментальный для участка микрофлюидики в комплекте. Исследование работы микрофлюидных устройств.

час

1 568,42

Стенд экспериментальный на базе стереомикроскопа. Исследование работы микрофлюидных устройств.

час

2 399,62

Стенд экспериментальный плазменной очистки и активации поверхности в среде инертных газов. Обработка образца.

час

2 388,79

Установка бондинга. Обработка образца.

час

6 477,82

Установка инспекции поверхности в ИК-свете. Обработка образца.

час

1 648,40

Установка нанесения и сушки фоторезиста.
Обработка образца (с материалами заказчика).

час

1 985,62

Установка нанесения и сушки фоторезиста.
Обработка образца, нанесение ПММА.

час

4 199,29

Установка нанесения и сушки фоторезиста.
Обработка образца, нанесение ПММА, А4.

час

4 199,64

Установка нанесения и сушки фоторезиста.
Обработка образца, нанесение ПММА, А7.

час

4 199,64

Установка нанесения и сушки фоторезиста.
Обработка образца, нанесение ПММА.

час

4 159,21

Установка нанесения и сушки фоторезиста.
Обработка образца, нанесение AR-P .

час

3 672,83

Установка нанесения и сушки фоторезиста.
Обработка образца, нанесение электронно-лучевого резиста CSAR.

час

3 076,80

Установка нанесения и сушки фоторезиста.
Обработка образца, нанесение Copolymer Resists.

час

4 531,97

Установка нанесения и сушки фоторезиста.
Обработка образца, нанесение Copolymer Resists.

час

4 531,97

Установка нанесения и сушки фоторезиста 
Обработка образца, нанесение защитного проводящего покрытия.

час

4 650,71

Установка нанесения и сушки фоторезиста.
Обработка образца, нанесение адгезива.

час

2 072,50

Установка нанесения и сушки фоторезиста.
Обработка образца, нанесение LOR.

час

4 345,01

Установка нанесения и сушки фоторезиста.
Обработка образца, нанесение AZ.

час

2 376,65

Установка нанесения и сушки фоторезиста.
Обработка образца, нанесение Ultra.

час

2 462,79

Установка нанесения и сушки фоторезиста.
Обработка образца, нанесение SPR.

час

3 066,60

Установка нанесения и сушки фоторезиста.
Обработка образца, подслой OmniCoat.

час

4 499,53

Установка нанесения и сушки фоторезиста.
Обработка образца, нанесение SU-8.

час

9 709,66

Установка нанесения и сушки фоторезиста.
Обработка образца, нанесение HSQ.

час

6 018,76

Установка сушки и дубления фоторезиста.
Обработка образца (термообработка 1 минута)

процесс

1 445,21

Установка сушки и дубления фоторезиста.
Обработка образца (термообработка 15 минут)

процесс

1 756,91

Установка сушки и дубления фоторезиста.
Обработка образца (термообработка 30 минут)

процесс

1 943,89

Установка сушки и дубления фоторезиста.
Обработка образца (термообработка 45 минут)

процесс

2 240,00

Установка сушки и дубления фоторезиста.
Обработка образца (термообработка 1 час)

процесс

2 476,04

Стенд измерительного прецизионного измерения изменений массы. Взвешивание образцов.

час

1 141,44

Стенд для динамического измерения адгезионных и антифрикционных параметров термоэлектрических материалов и коммутационных покрытий на базе станка. Прецизионная резка.

час

3 728,59

Стенд для прессования из порошка объемного термоэлектрического полупроводникового материала с заданными свойствами на базе станка. Горячая запрессовка образцов.

час

1 234,89

Тепловизор c германиевым объективом. Использование тепловизора.

час

1 382,20

Стенде для формирования многослойных коммутационных структур на полупроводниковых термоэлектрических ветвях методом лазерного 3D принтинга. Работа на оборудовании.

час

1 305,87

Устройство для вакуумной упаковки пакетов. Упаковка образцов.

час

1 902,80