
Bauman Sci-Pub Challenge 2024: команда НОЦ ФМН в призах
Руководитель центра Илья Родионов и аспиранты Дарья Москалева и Никита Коршаков заняли 4-е место в общеуниверситетском рейтинге публикаций
Laser lithography installation
The setup is a direct write lithography system. It allows creating a topology of microstructures on silicon, glass, various films and other flat samples coated with i-line photoresist without photomasks.
Key features and capabilities: