Изготовление образцов

How to order?

Please, email at fmn@bmstu.ru

Монокристаллические пленки серебра и других металлов

НОЦ ФМН изготавливает на заказ монокристаллические пленки серебра и других металлов, представляющие собой оптимальное решение для применений в нанофотонике, нанооптике и плазмонике.

SCULL-технология

Технология SCULL не требует адгезионных слоев и позволяет формировать пленки в условиях стандартной чистой комнаты на стандартной высоковакуумной установке электронно-лучевого испарения. Благодаря этому достигается высокая производительность процесса и более привлекательная цена.
Технология роста монокристаллических пленок и их качество
Нанесение всех тонких пленок проводится методом электронно-лучевого испарения с прецизионным контролем процесса в условиях высокого вакуума. Осаждение проводят из пеллет чистотой не хуже 99,999% на нагретые подложки. Подробности о методе осаждения эпитаксиальных пленок SCULL пленок можно найти здесь [Rodionov, Ilya A., et al. "Quantum Engineering of Atomically Smooth Single-Crystalline Silver Films." Scientific reports 9.1 (2019): 1-9.].
При эпитаксиальном росте тонкая пленка образует протяженные кристаллиты одной ориентации на кристаллической подложке. Качество структуры пленок проверяется рентгеновской дифрактометрией. На рисунке показан пример рентгеновского анализа θ-2θ, выполненного для типичной осажденной методом SCULL серебряной пленки толщиной 35 нм.

***

Преимущества SCULL-пленок НОЦ ФМН

  • Чистота материала для испарения достигает 99,999%.
  • Все пленки готовы к использованию; осаждение осуществляется непосредственно перед отправкой.
  • Параметры качества продукции подтверждаются массой метрологических измерений.
  • Срок производства пленки: 1 неделя.
  • Все пленки осаждаются при высоком базовом вакууме (3·10-8 Торр) методом электронно-лучевого испарения с применением уникальной, разработанной специалистами НОЦ ФМН технологии SCULL (российский патент RU2691432C1).

Пленки Ag Scull

Тип пластины Тип пленки Шероховатость Оптические
Площадь покрытия, мм
Толщина слоя металла, нм Геометрия слоя
Тип: Si <111>
Ориентация: <111>±0.2˚
Показатель преломления (λ=628 нм): 3.91
Ag 99,999%
Ориентация: <111> (FWHM <0.3˚ ω-скан XRD)
(2,5х2,5 мкм2): 0.08 нм
 
(50х50 мкм2): 0.51 нм
ε’’<0.3 для λ=400..700 нм
 
ε’’<0.8 для λ=700..1000 нм
20х20 35-1000 img

Области применения
Уникальные свойства пленок, осажденных в НОЦ ФМН, уже позволили команде центра и партнерским научным группам поставить ряд рекордов в области наноплазмоники и сенсорики.
НОЦ ФМН изготавливает на заказ монокристаллические пленки серебра и других металлов, представляющие собой оптимальное решение для применений в нанофотонике, нанооптике и плазмонике. Благодаря своим непревзойденным характеристикам, они могут быть использованы в области бионанотехнологий, поскольку служат оптимальной основой для ГРК-подложек. Пленки также могут использоваться в качестве подложек для демонстрации возможностей сверхточного метрологического оборудования.

Рекордные показатели, достигнутые с применением SCULL-пленок:

  • Продемонстрирована самая большая из достигнутых в мире длина распространения поверхностного плазмонного резонанса; показатель увеличен более чем в 2 раза в сравнении с предыдущими достижениями: 200 мкм для длины возбуждающего излучения 780 нм. Подробнее.
  • Создан самый яркий однофотонный источник и на порядок увеличена скорость излучения фотонов. Подробнее.

Качество монокристаллических пленок, осажденных НОЦ ФМН по собственной технологии

***

Изображение, полученное с помощью сканирующего атомно-силового микроскопа

***

Изображение, полученное с помощью сканирующего электронного микроскопа

***

Изображение, полученное с помощью детектора обратно отраженных электронов

Гарантия

Монокристаллические пленки – очень деликатный продукт с ограниченным сроком хранения. Гарантия не распространяется на изделия, с которыми были произведены любые манипуляции, которые могут привести к ухудшению их поверхности (прикосновения, порезы, любая обработка поверхности). Гарантия не распространяется на образцы, которые долгое время хранились вне коробки и истекшим сроком годности.

News