Вытяжные системы для работы с неогранической химией, Ramgraber (Германия)

 
Системы предназначены для проведения процессов жидкостной обработки пластин диаметрами 100 и 200 мм, а также кусков пластин. В процессы жидкостной обработки входят: жидкостная отмывка поверхности и травление пластин в растворах кислот и щелочей.

Вытяжные системы разделены на две подсистемы: для ионсодержащих материалов и для неионсодержащих материалов, которые представляют собой отдельностоящие установки.

Основные характеристики и возможности:
  • ламинарный поток воздуха с HEPA фильтрами;
  • ванны для работы с кислотами и щелочами;
  • возможные процессы промывки пластин: SC-1 (NH4OH, H2O2, H2O), очистка в HNO3 (HNO3, H2O), Пиранья (H2SO4, H2O), промывка в деионизованной воде (QDR);
  • возможные процессы травления пластин: изотропное травление кремния (HNO3, H2O, NH4F), анизотропное травление кремния (КОН), травление оксидов (HF, BHF), травление нитридов (H3PO4), травление золота (HNO3, HCl), травление алюминия (H3PO4, HNO3, CH3COOH);
  • обработка пластин 100 и 200 мм, а также кусков пластин;
  • ванна быстрой промывки QDR для одновременной промывки до 5 пластин;
  • функция подачи пузырей в ванну деионизованной воды;
  • нагревательные плиты с диапазоном изменения температур от 50 до 500 оС с шагом 10 оС;
  • возможность быстрой сушки пластин;
  • в одной из систем установлен модуль для травления пластин 100 и 200 мм в парах плавиковой кислоты для удаления жертвенного окисла, с безопасным держателем пластин и контролем температуры на держателе.
Последние события ФМН