Установка травления в парах плавиковой кислоты, Idonus (Швейцария)


Установка предназначена для травления окисла кремния в парах плавиковой кислоты. Отсутствие контакта обрабатываемой подложки с жидкой фазой кислоты позволяет избежать слипания микроэлементов.

Основные характеристики и возможности:
  • контроль температуры держателя;
  • безопасный держатель для обработки в кислоте;
  • обработка пластин 100-200 мм, а также кусков пластин;
  • электростатический держатель для пластин до 200 мм и кусков пластин;
  • обрабатываемые материалы - окислы кремния, стекло, нитрид кремния.

Целевые технологические процессы:
  • механическое освобождение микроструктур путем удаления окисла кремния (в том числе жертвенного окисла);
  • изменение профиля микроструктур путем частичного подтравливания окисла кремния;
  • выравнивание профиля (стенок) микроструктур после глубокого травления кремния (Бош-процесс);
  • подготовка поверхности кремниевых пластин путем удаления природного окисла на их поверхности.

Последние события ФМН