Установка плазмохимического травления и осаждения из газовой фазы, Oxford Instruments Plasma Technology (Великобритания)

Установка плазмохимического травления и осаждения из газовой фазы Oxford Instruments Plasma Technology (Великобритания)


Установка плазмохимического травления Oxford Instruments с использованием фторных газов оснащена источником высокоплотной индуктивно связной плазмы. Предназначена для плазмохимического травления кремниевых структур, а также для следующих процессов:
  • Bosch процессов с углом профиля стенок 90 ± 1° и типовыми размерами структур от 10 нм;
  • Cryo Bosch процессов – охлаждаемый до -150 °C подложкодержатель позволяет осуществлять низкотемпературные процессы травления с высоким аспектным соотношением 30:1, размером гребней боковых стенок < 150 нм и гладкостью < 5 нм;
  • травления кремния по обратной стороне со скоростью > 3500 нм/мин;
  • травления диоксида кремния, кварца, стекла, с однородностью по пластине < ± 5 %;
  • травления оксидных пленок титана со скоростью > 40 нм/мин с наклоном профиля стенок > 80°;
  • травления вольфрама со скоростью > 100 нм/мин и углом профиля > 85°;
  • травления нитрида кремния со скоростью > 100 нм/мин и углом профиля > 88°.

Конфигурация газов в данной системе позволяет проводить низкотемпературные < 150 °C процессы осаждения многослойных пленок со скоростью > 8 нм/мин, равномерностью по пластине < ± 5 % и напряженностью < 250 МПа следующих материалов:
  • оксида кремния;
  • нитрида кремния;
  • аморфного кремния;
  • карбида кремния.


Установка реактивного ионного травления Sirus T2, Trion Technology (США)

Установка предназначена для реактивного ионного травления с использованием фторных газов. Компактность и надежная конструкция делают ее идеальной для работы в лабораторной среде. Позволяет осуществлять травление следующих материалов:
  • кремния, диоксида кремния, нитрида кремния;
  • кварца;
  • вольфрама;
  • полиимидов;
  • титана.


Автоматическая установка реактивного ионного и плазмохимического травления «КАРОЛИНА 15», ЭСТО-Вакуум (Россия)


Установка предназначена для травления рельефно-фазовых голограммных оптических элементов (ГОЭ), дифракционных оптических элементов (ДОЭ) и киноформных оптических элементов (КОЭ) на стеклянных и полупроводниковых пластинах.

Основные характеристики и возможности:
  • 13.56 МГц (0.9 кВт);
  • диаметр обрабатываемых изделий – до 200 мм;
  • количество каналов рабочих газов (шт.) – до 8;
  • из них 4 канала для агрессивных газов;
  • равномерность травления на Ø150 мм при травлении SiO2 – ± 1 %.
Последние события ФМН
В НОЦ ФМН созданы сверхпроводниковые кубиты-трансмоны мирового  уровня с временем когерентности в 50 микросекунд
В НОЦ ФМНС созданы сверхпроводниковые кубиты‑трансмоны мирового уровня с временем когерентности в 50 микросекунд
Инженеры и ученые МГТУ им. Н.Э. Баумана и ФГУП «ВНИИА» ГК «Росатом» на базе совместного НОЦ «Функциональные Микро/Наносистемы» (НОЦ ФМН), в кооперации с учеными ИФТТ РАН, МИСиС, МФТИ, РКЦ и НГТУ, разработали технологию создания сверхпроводниковых кубитов со «временем жизни» на уровне 50 микросекунд. Полученные результаты не уступают параметрам квантовых процессоров лучших мировых аналогов от IBM, Google, Intel. Это важнейший шаг на пути к созданию российского универсального квантового компьютера. Ключевые игроки зарождающегося рынка квантовых вычислений выбрали в качестве технологической платформы именно сверхпроводниковые кубиты.
Визит делегации концерна Carl Zeiss и холдинга ОПТЭК
Визит делегации концерна Carl Zeiss и холдинга ОПТЭК
3 ноября прошла встреча с руководством концерна Carl Zeiss и холдинга ОПТЭК. В составе делегации - T. Spitzepfeil – член совета правления концерна, U. Hoffmann – член совета правления концерна, M. Hubensack – президент Zeiss Meditec, J. Novoa – руководитель развития сети региональных партнеров Carl Zeiss Microscopy, G. Bauhammer – менеджер по развитию бизнеса Carl Zeiss Microscopy в РФ, О. Середкина – генеральный директор ООО «ОПТЭК», М. Игельник – управляющий холдинга OPTEC Group, Николас фон Корфф – финансовый директор холдинга OPTEC Group, В. Власенко – директор департамента научного и промышленного материаловедения ООО ОПТЭК, А. Ульяненков – директор департамента междисциплинарных проектов.
Отмечаем год эффективного сотрудничества компании «Маппер» и НОЦ ФМН
Отмечаем год эффективного сотрудничества с компанией «Маппер»
Сложившееся взаимодействие является взаимным – за прошедший год эффективного сотрудничества организации неоднократно «обменялись» заказами на изготовление уникальных изделий и технологических операций...
Modeling of Thermoelectric Generator Power Characteristics for Motorcycle-Type Engines Опубликована работа
Опубликована наша новая статья в журнале "Journal of Electronic Materials"
Modeling of Thermoelectric Generator Power Characteristics for Motorcycle-Type Engines В статье представлена модель для расчёта эксплуатационных характеристик термоэлектрических генераторов для малокубатурных двигателей внутреннего сгорания транспортных средств (например, мотоцикл, квадроцикл или снегоход). Их применение отрывает возможности для получения дополнительной электроэнергии путем утилизации тепловой мощности выхлопных газов. Установка ТЭГ на выхлопной трубе существенно проще, чем замена штатного электро-механического генератора из-за весьма плотной копоновки двс мотоциклетного типа. Разработанная модель позволяет определить основные эксплуатационные характеристики ТЭГ (электрическую мощность, КПД, и массу) при различных вариантах использования. Расчёты выполнены для нескольких компоновок ТЭГ, предложенных для ДВС Yamaha WR450F.
Численное моделирование процессов тепломассопереноса в микрофлюидном тепловом датчике потока Опубликована работа
Опубликована наша новая статья в журнале "Вестник Московского государственного технического университета им. Н.Э. Баумана"
Численное моделирование процессов тепломассопереноса в микрофлюидном тепловом датчике потока ВЕСТНИК МОСКОВСКОГО ГОСУДАРСТВЕННОГО ТЕХНИЧЕСКОГО УНИВЕРСИТЕТА ИМ. Н.Э. БАУМАНА СЕРИЯ: ПРИБОРОСТРОЕНИЕ #5(116)/2017