Прибор предназначен для картирования, определения количества, положения и размера светорассеивающих дефектов (частиц пыли, рисок, пятен) на поверхности полупроводниковых пластин, исследования микрошероховатости поверхности пластин, а также проведения входного и выходного контроля качества пластин.
Основные характеристики и возможности:
источник света: лазер с длиной волны 405 нм;
диаметр детектируемых дефектов: 100 нм;
диаметр подложки: 76, 100, 125, 150, 200 мм;
стандартное отклонение (при среднем числе частиц 500 шт): менее 5 %;
Команда ученых из Университета Чикаго создала квантовый материал, называемый экситонным конденсатом, используя 53-кубитный процессор IBM Quantum Hummingbird
В НОЦ ФМН созданы серебряные пленки, улучшающие свойства с течением времени. Материал найдет применение в области нанофотоники, оптики, квантовых вычислений и коммуникаций.
Илья Родионов рассказал участникам и гостям форума о ключевых достижениях НОЦ ФМН в области квантовых вычислений - одного из ключевых направлений технологического развития России.