50 кВ установка электронно-лучевой литографии, Raith (Германия)

 
Установка предназначена для формирования изображения с топологическими размерами до 10 нм в слое резиста с помощью сфокусированного электронного пучка.

Основные характеристики и возможности:
  • разрешение 10 нм (с периодом 40 нм);
  • ускоряющее напряжение электронного пучка от 10 до 50 кВ;
  • ток пучка 50 пА – 40 нА;
  • минимальная адресная сетка 0.5 нм в поле 500 мкм;
  • максимальное поле экспонирования 500 мкм2 с возможностью коррекции фокуса в реальном времени;
  • точность сшивки полей 25 нм (+3σ) в поле 100 мкм и 35 нм (+3σ) в поле 500 мкм;
  • область экспонирования 150 х 150 мм;
  • автоматическое или ручное задание меток совмещения (до 9 меток в каждом поле экспонирования);
  • автоматическое, полуавтоматическое или ручное распознавание меток;
  • точность совмещения 25 нм (+3σ) в поле 100 мкм и 35 нм (+3σ) в поле 500 мкм;
  • автоматическая коррекция фокуса;
  • возможность коррекции формы пучка в процессе экспонирования
  • размер подложек от 5 до 200 мм.
Последние события ФМН
В НОЦ ФМН созданы сверхпроводниковые кубиты-трансмоны мирового  уровня с временем когерентности в 50 микросекунд
В НОЦ ФМНС созданы сверхпроводниковые кубиты‑трансмоны мирового уровня с временем когерентности в 50 микросекунд
Инженеры и ученые МГТУ им. Н.Э. Баумана и ФГУП «ВНИИА» ГК «Росатом» на базе совместного НОЦ «Функциональные Микро/Наносистемы» (НОЦ ФМН), в кооперации с учеными ИФТТ РАН, МИСиС, МФТИ, РКЦ и НГТУ, разработали технологию создания сверхпроводниковых кубитов со «временем жизни» на уровне 50 микросекунд. Полученные результаты не уступают параметрам квантовых процессоров лучших мировых аналогов от IBM, Google, Intel. Это важнейший шаг на пути к созданию российского универсального квантового компьютера. Ключевые игроки зарождающегося рынка квантовых вычислений выбрали в качестве технологической платформы именно сверхпроводниковые кубиты.
Визит делегации концерна Carl Zeiss и холдинга ОПТЭК
Визит делегации концерна Carl Zeiss и холдинга ОПТЭК
3 ноября прошла встреча с руководством концерна Carl Zeiss и холдинга ОПТЭК. В составе делегации - T. Spitzepfeil – член совета правления концерна, U. Hoffmann – член совета правления концерна, M. Hubensack – президент Zeiss Meditec, J. Novoa – руководитель развития сети региональных партнеров Carl Zeiss Microscopy, G. Bauhammer – менеджер по развитию бизнеса Carl Zeiss Microscopy в РФ, О. Середкина – генеральный директор ООО «ОПТЭК», М. Игельник – управляющий холдинга OPTEC Group, Николас фон Корфф – финансовый директор холдинга OPTEC Group, В. Власенко – директор департамента научного и промышленного материаловедения ООО ОПТЭК, А. Ульяненков – директор департамента междисциплинарных проектов.
Отмечаем год эффективного сотрудничества компании «Маппер» и НОЦ ФМН
Отмечаем год эффективного сотрудничества с компанией «Маппер»
Сложившееся взаимодействие является взаимным – за прошедший год эффективного сотрудничества организации неоднократно «обменялись» заказами на изготовление уникальных изделий и технологических операций...