Установка бондинга (сращивания) пластин SB6/8 Gen2, SUSS Microtec (Германия)

  Бондер Suss SB8.jpeg
Установка предназначена для сращивания пластин путем анодного, термокомпрессионного, полимерного, клеевого бондинга, эвтектики и фриттов.

Основные характеристики и возможности:
  • сращивание пластин (кремний и стекло) размерами 200 мм, 150 мм, 100 мм, а также кусков пластин с максимальным линейным размером до 76 мм;
  • совместимость с установкой совмещения и экспонирования для автоматической обработки предварительно совмещенных и закрепленных относительно друг друга пластин;
  • щелевая подача пластин, обеспечивающая чистоту процесса сращивания;
  • толщина склеиваемой системы – 6 мм;
  • количество пластин в одной загрузке – 2;
  • вакуум в камере бондинга – 5*10-5 мбар;
  • типы газов для прокачки – инертные газы и воздух;
  • максимальная температура внутри камеры – 500 оС;
  • равномерность температуры - ±3 %;
  • повторяемость температуры - ±3 %;
  • стабильность температуры - ±2 %;
  • максимальное напряжение при бондинге – 2 кВ;
  • максимальная сила тока бондинга – 60 мА;
  • максимальное усилие при бондинге – 20 кН;
  • наличие автозагрузчика для подачи предварительно совмещенных пластин в камеру сращивания.
Последние события ФМН