Сотрудники

Родионов Илья Анатольевич
Директор. Кандидат технических наук, доцент
В 2008 году окончил с отличием кафедру «Проектирование и технологии производства электронной аппаратуры» МГТУ им. Н.Э. Баумана. В 2010 году защитил диссертацию кандидата технических наук на тему разработки процессов проекционной литографии при изготовлении СБИС с суб-длинноволновыми проектными нормами. Результаты диссертации внедрены при изготовлении более 10 СБИС российского производства.

С 2005 по 2013 год работал в НИИ Системных исследований РАН, где прошел путь от инженера до руководителя группы конструктивно-технологического моделирования. В НИИСИ РАН получил опыт в технологии изготовления СБИС с проектными нормами 0,5мкм, 0,35мкм и 0,25мкм, проектирования топологии СБИС и фотошаблонов, разработке КД и ТД по НИР и ОКР, моделирования процессов проекционной литографии и химико-механической планаризации, разработки методов коррекции эффектов оптической близости, а также конструкторско-технологического моделирования полупроводниковых устройств. С 2011 по 2013 год руководил отделом исследований и разработок коммерческой организации, где получил опыт полного цикла проведения НИР и ОКР по проектированию и изготовлению специальных электронных устройств.

В 2013 году возглавил созданный в МГТУ им. Н.Э. Баумана научно-образовательный центр «Функциональные Микро/Наносистемы».
Башков Валерий Михайлович
Научный руководитель по материаловедению
В 1970 году окончил Тольятинский Политехнический Институт. В 1982 г. присвоена ученая степень кандидата технических наук.
Имеет 132 публикации, из них 5 учебно-методических, 2 монографии, используемые в педагогической практике, является автором 7 авторских свидетельств и 2 зарубежных патентов и 2 патентов РФ.

Имеет 35-ти летний опыт организации и проведения научных исследований. Специалист высшей квалификации в области технологий и приборостроения и нанотехнологий. Ряд разработок внедрены на промышленных предприятиях, в частности ФГУП «Комета», НПО «Кристалл». В настоящее время продолжает активную научно-исследовательскую и преподавательскую деятельность.

С 2007 по 2015 был директором учебно-инженерного центра нанотехнологий, нано- и микросистемной техники МГТУ им. Н.Э. Баумана.
Михалев Павел Андреевич
Заместитель директора по материаловедению
В 2006 году получил диплом инженера-разработчика по специальности «Проектирование и технология радиоэлектронных средств» в МГТУ им. Н.Э. Баумана.

После защиты диплома начал трудовую деятельность в МГТУ им. Н.Э. Баумана. Руководил работами по исследованию деградации материалов в условиях открытого космоса и влиянию собственной внешней атмосферы на работу бортовой аппаратуры. Является соавтором проекта комплексного исследовательско-технологического участка для разработки и изготовления бортовой аппаратуры комических аппаратов, реализованном и внедренном в ОАО «Корпорация «Комета». Разработчик уникального исследовательского стенда МКФ-3М по изучению влияния факторов космического пространства на различные объекты. С 2011 года руководитель лаборатории Учебно-инженерного центра нанотехнологий, нано и микросистемной техники. Автор более 20 научных работ и публикаций, четырех патентов.

В 2015 году получил именную стипендию Президента РФ молодым ученым и аспирантам.
Осипков Алексей Сергеевич
Руководитель лаборатории
В 2006 году получил диплом инженера (с отличием) по специальности «Проектирование и технология радиоэлектронных средств» в МГТУ им. Н.Э. Баумана. В 2010 году защитил кандидатскую диссертацию по теме «Обеспечение надежности термоэлектрических модулей приборов методом акустической эмиссии на этапе их технологических испытаний». Автор более 30 научных работ и публикаций, одного патента.

С 2007 года принимает активное участие в научно-исследовательских и опытно-конструкторских работах по разработке технологий нанесения покрытий, функциональных слоев и модификации поверхности, разработке композиционных и керамических материалов с заданными физико-механическими свойствами.
Рыжова Елена Владимировна
Ведущий инженер
В 2008 году получила квалификацию инженера по специальности «Нанотехнология в электронике» в Московском Институте Радиотехники, Электроники и Автоматики (Техническом Университете). С 2008 года работала технологом фотолитографии в Отделении микротехнологий НИИСИ РАН. Осуществляла разработку и контроль операций проекционной литографии, технологическое сопровождение изделий СБИС с проектными нормами до 0.25 мкм.

С 2014 года сотрудник НОЦ ФМН.
Макеев Мстислав Олегович
Ведущий инженер
В 2007 году с отличием окончил МГТУ им. Н.Э. Баумана по специальности «Проектирование и технология радиоэлектронных средств». В 2014 году защитил кандидатскую диссертацию по теме «Разработка конструкторско-технологических методов и средств повышения надёжности смесителей радиосигналов на основе резонансно-туннельных диодов». В 2015 году получил именную стипендию Президента РФ молодым ученым и аспирантам.

С 2007 года в МГТУ им. Н.Э. Баумана ведет работу над проектами по направлениям исследования деградационных процессов в резонансно-туннельных диодах при воздействии внешних факторов, разработке упрочняющих алмазоподобных покрытий для оптических материалов, разработке технологии ионной модификации поверхности и формирования на ней защитных покрытий для защиты изделий космического назначения от вредных факторов открытого космоса и др. Автор более 60 научных работ и публикаций.
Бердникова Анастасия Александровна
Экономист
В 2013 году закончила Государственное казенное образовательное учреждение высшего образования «Российская таможенная академия» программы "Экономика" направления подготовки по специальности “Мировая экономика” (специалист). В 2015 году получила степень магистра по направлению “Финансы и кредит” в Национальном исследовательском университете «Высшая школа экономики».

С 2013 года сотрудник НОЦ ФМН.
Щербаков Александр Юрьевич
Инженер службы инженерно-технического обеспечения
С 2005 по 2006 год изучал технологии нанесения тонкопленочных покрытий в Физико-технологическом институте Российской академии наук (ФТИАН). В 2007 году работал в лаборатории НИИ Точных приборов в области ионно-лучевого и магнетронного распыления металлов. В 2008 году окончил кафедру «Проектирование и технологии производства электронной аппаратуры» МГТУ им. Н.Э. Баумана.

С 2015 года сотрудник НОЦ ФМН.
Зверев Александр Вячеславович
Инженер-технолог, аспирант
В 2013 году окончил МГТУ им. Н.Э. Баумана кафедру ИУ4 «Проектирование и технология производства электронной аппаратуры». Защитил диплом на тему: «Система визуализации информации с пониженным энергопотреблением».  Занимался сквозным проектированием и прототипированием электронных устройств.

С 2013 года сотрудник НОЦ ФМН. С 2013 года прошел 5 стажировок в Германии, Японии.
Трофимов Игорь Валерьевич
Инженер-технолог, аспирант
В 2014 году окончил МГТУ им. Н.Э. Баумана кафедру ИУ4 «Проектирование и технология производства электронной аппаратуры».

C 2014 года обучается в аспирантуре Института Теоретической и Прикладной Электродинамики Российской Академии Наук (ИТПЭ РАН) по направленности «Электрофизика и электрофизические установки».

С 2014 года сотрудник НОЦ ФМН. С 2015 года прошел 3 стажировки в Германии.
Бабурин Александр Сергеевич
Инженер-технолог, аспирант
В 2015 году окончил с отличием МГТУ им. Н.Э.Баумана по специальности «Электронное машиностроение», защитил диплом на тему: «Технология формирования металлизационных покрытий на полимерных конструкционных материалах для изделий электронной техники».

С 2012 года занимал должность инженера на кафедре «Электронные технологии в машиностроении» МГТУ им. Н.Э. Баумана. Занимался электронно-лучевым и магнетронным, в т.ч. жидкофазным, методами осаждения металлических пленок. Занимался анализом применения ионной обработки. Разрабатывал технологию металлизации полимеров.

С 2015 года работает в НОЦ ФМН. С 2015 года прошел 2 стажировки в Германии и США.
Филиппов Иван Андреевич
Инженер-технолог, аспирант
В 2014 году окончил МГТУ им. Н.Э. Баумана кафедру ИУ4 «Проектирование и технология производства электронной аппаратуры». Защитил диплом на тему: «Система контроля доступа в помещение на основе использования распределенных МЭМС технологий».

C 2014 года обучается в аспирантуре кафедры ИУ4 МГТУ им. Н.Э.Баумана.

С 2014 года сотрудник НОЦ ФМН. В 2015 году прошел стажировку в Великобритании.
Габидуллин Айдар Радикович
Инженер-технолог, студент
В 2015 году получил степень бакалавра по направлению «Электроника и наноэлектроника» в МГТУ им. Н.Э. Баумана. С 2013 года в лаборатории «Элионные процессы и нанотехнологии» кафедры «Электронные технологии в машиностроении» занимается исследованием магнетронного осаждения и разработкой устройств энергообеспечения для установок вакуумного осаждения.

С 2015 года сотрудник НОЦ ФМН.
Янович Сергей Владиславович
Инженер
В 2009 году закончил кафедру «Электронные технологии в машиностроении» (МТ-11) МГТУ им. Н.Э. Баумана. Участвовал в разработке универсальной вакуумной установки собранной и запущенной в Центре нанотехнологий МГТУ им. Н.Э.Баумана. Установка применялась для имитационных исследований факторов космического пространства, испытаний термоэлектрических модулей Пельтье, испытаний свойств материалов и других технологических операций.

С 2009 года занимается пьезокварцевыми компонентами, пьезосенсорами и промышленным оборудованием для их производства в составе ЗАО «ЭТНА». В качестве главного конструктора, есть положительный опыт работы с различными лабораториями МГТУ им. Н.Э. Баумана и РКК «Энергия». Разрабатывал оборудование для вакуумных, термо-климатических, крио, оптических, механических промышленных и исследовательских применений.
Пошехонов Роман Александрович
Инженер
В 2009 г. получил диплом с отличием МГТУ им. Н.Э. Баумана по специальности «Динамика и прочность машин». В 2016 г. защитил диссертацию к.т.н. «Разработка методов расчета статических и динамических характеристик шпиндельных узлов со сферическими аэростатическими опорами». C 2007 г. в МГТУ им. Н.Э. Баумана руководит курсовыми и дипломными работами, проводит лабораторные работы и семинары по сопротивлению материалов, практические занятия по разработанному курсу о применении MATLAB в задачах механики.

С 2011 по 2012 г. в «ОАО "Корпорация ИРКУТ» занимался конечно-элементным моделированием механизации крыла самолёта в программе ANSYS. С 2008 г. в ОАО «ВНИИИНСТРУМЕНТ» (ООО «Ресурс точности» / АНОН НИЦ «КП-Алмаз») моделирует и экспериментально исследует статические и динамические характеристик аэростатических опор для станков наноразмерной обработки.

С 2015 года сотрудник НОЦ ФМН.
Иванов Антон Иванович
Инженер, аспирант
В 2015 году окончил МГТУ им. Н.Э. Баумана по специальности «Нанотехнологии радиоэлектронных систем». С 2013 года занимается исследованием надежности радиоэлектронных приборов и устройств на основе многослойных полупроводниковых наноразмерных GaAs/AlxGa1-xAs гетероструктур с использованием Оже-электронной спектроскопии. В 2015 году поступил в аспирантуру на кафедру РЛ6 «Технологии приборостроения» МГТУ им. Н.Э. Баумана, где и обучается по настоящее время.

С 2014 года сотрудник НОЦ ФМН.
Проваторов Александр Сергеевич
Лаборант
Студент кафедры «Технологии ракетно-космического машиностроения» МГТУ им Н.Э. Баумана, призер Всероссийской конференции «Будущее машиностроения России».
Шевченко Александрина Игоревна
Техник
В настоящий момент является студенткой кафедры «Технология приборостроения» МГТУ им. Н. Э. Баумана по направлению «Нанотехнологии РЭС».

С октября 2015 года работает в НОЦ ФМН, где является оператором лабораторного комплекса ИНТЕГРА Спектра. Основная сфера интересов – сканирующая зондовая микроскопия, в частности атомно-силовая микроскопия.
Кудрина Наталья Сергеевна
Лаборант
Студентка 6 курса кафедры «Материаловедение». С 2014 года занимается эрозионностойкими, износостойкими ионно-плазменными покрытиями.

С 2015 года сотрудник НОЦ ФМН.
Последние события ФМН