Завершены приемо-сдаточные испытания и введена в эксплуатацию установка электронно-лучевой литографии

30 сентября 2015 года
Завершены приемо-сдаточные испытания и ввод в эксплуатацию установки электронно-лучевой литографии VOYAGER компании Raith, Германия. 
Система предназначена для безмасочного формирования топологических элементов устройств с разрешением до 10 нм.

 
Все новости