Завершены приемо-сдаточные испытания и введена в эксплуатацию установка электронно-лучевой литографии

30 сентября 2015 года
Завершены приемо-сдаточные испытания и ввод в эксплуатацию установки электронно-лучевой литографии VOYAGER компании Raith, Германия. Система предназначена для безмасочного формирования топологических элементов устройств с разрешением до 10 нм.

 

НОЦ ФМН - совместный технологический центр МГТУ им. Н.Э. Баумана и Всероссийского научно-исследовательского института автоматики им. Н.Л. Духова (ФГУП «ВНИИА»), который поддерживает и обеспечивает реализацию передовых практических исследований в области элементной базы на новых физических принципах, нанофотоники и оптики, биоаналитических платформ типа «лаборатория на чипе», систем рекуперации энергии на базе МЭМС и тонкопленочных технологий. Исследования в центре выполняются с использованием комплексов оборудования различных подразделений Университета и ФГУП «ВНИИА», объединенных в единый технологический кластер, а также на оборудовании, приобретаемом в рамках динамично развивающегося промышленного консорциума.

МГТУ им.Н.Э.Баумана - один из крупнейших государственных технических университетов и научных центров России и Европы. Обучение в МГТУ им. Н.Э. Баумана ведется на 19 факультетах дневного отделения. Существует 2 филиала МГТУ в Калуге и Дмитрове, а так же техникум. Основными структурными подразделениями университета являются научно-учебные комплексы, имеющие в своем составе факультет и научно-исследовательский институт.


Все новости