Завершены приемо-сдаточные испытания и введен в эксплуатацию комплекс нанесения/сушки/проявления резистов

13 августа 2015 года
   Завершены приемо-сдаточные испытания и ввод в эксплуатацию комплекса нанесения/сушки/проявления резистов серии CEE200 компании Brewer Science, США. Комплекс предназначен для нанесения тонких пленок различных резистов для электронно-лучевой, лазерной и оптической литографии.

 

НОЦ ФМН - совместный технологический центр МГТУ им. Н.Э. Баумана и Всероссийского научно-исследовательского института автоматики им. Н.Л. Духова (ФГУП «ВНИИА»), который поддерживает и обеспечивает реализацию передовых практических исследований в области элементной базы на новых физических принципах, нанофотоники и оптики, биоаналитических платформ типа «лаборатория на чипе», систем рекуперации энергии на базе МЭМС и тонкопленочных технологий. Исследования в центре выполняются с использованием комплексов оборудования различных подразделений Университета и ФГУП «ВНИИА», объединенных в единый технологический кластер, а также на оборудовании, приобретаемом в рамках динамично развивающегося промышленного консорциума.

МГТУ им.Н.Э.Баумана - один из крупнейших государственных технических университетов и научных центров России и Европы. Обучение в МГТУ им. Н.Э. Баумана ведется на 19 факультетах дневного отделения. Существует 2 филиала МГТУ в Калуге и Дмитрове, а так же техникум. Основными структурными подразделениями университета являются научно-учебные комплексы, имеющие в своем составе факультет и научно-исследовательский институт.

ФГУП ВНИИА – Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им.Н.Л.Духова. В настоящее время ФГУП ВНИИА представляет собой крупнейший научно-исследовательский и производственный центр. Главными направлениями работ являются разработка и серийное производство: программно-технических средств автоматизированных систем управления технологических процессов (АСУТП) атомных и тепловых электростанций, других сложных объектов; датчиков и сигнализаторов давления для атомных и нефтегазовых предприятий; портативных нейтронных генераторов и аппаратуры на их основе; портативных рентгеновских генераторов; радиационных мониторов; аппаратуры для регистрации быстропротекающих однократных процессов; устройств дуговой защиты для объектов энергетики; аппаратуры электровзрывания; сейсмических датчиков и систем регистрации землетрясений. В состав ФГУП ВНИИА входят 3 центра. Институт оснащен современным производственным, технологическим и испытательным оборудованием. Общая численность сотрудников института более 4000 человек, в том числе около 100 докторов и кандидатов наук. ВНИИА ведет работы по оборонной и гражданской тематикам.

Все новости