Завершены приемо-сдаточные испытания и введен в эксплуатацию комплекс нанесения/сушки/проявления резистов

13 августа 2015 года
Завершены приемо-сдаточные испытания и ввод в эксплуатацию комплекса нанесения/сушки/проявления резистов серии CEE200 компании Brewer Science, США. 
Комплекс предназначен для нанесения тонких пленок различных резистов для электронно-лучевой, лазерной и оптической литографии.

 
Все новости
Новая статья в Coatings Опубликована работа
Новая статья в Coatings
В НОЦ ФМН созданы серебряные пленки, улучшающие свойства с течением времени. Материал найдет применение в области нанофотоники, оптики, квантовых вычислений и коммуникаций.