Ввод в эксплуатацию спектроскопического эллипсометра Sentech SER 800-C, Sentech Instruments GmbH (Германия)
15 декабря 2016 года
В НОЦ ФМН введен в эксплуатацию спектроскопический эллипсометр SER 800-C компании Sentech Instruments, GmbH (Германия). Были проведены приемо-сдаточные испытания на образцах оксида кремния на кремнии SiO2 (~102,0 нм) / Si, монокристаллического серебра на кремнии Ag (~25,0 нм) / Si, ALD-сапфира на UV-Grade Al2O3 (~30,0 нм)/UV-Grade.
Характеристики эллипсометра:
Спектральный диапазон: от 240 до 1000 нм;
Точность измерения толщин: 0,01 нм на SiO2 (~102,0 нм)/Si;
Точность измерения коэффициента преломления: ~ 5×10-4 на SiO2 (~102,0 нм)/Si;
Диапазон измерения толщин: от 0,1 нм до 100 мкм;
Углы падения: от 40° до 90° с шагом 5°;
Возможность измерения локальных областей размером: 200 мкм2;
Возможность снятия карты поверхности;
Модуль измерения на пропускание.
Спектроскопическая эллипсометрия – оптический метод, основанный на анализе поляризации отраженного света от образца. Спектроскопическая эллипсометрия используется для исследования физико-химических свойств, определения толщин поверхностных слоев, однослойных и многослойных структур, а также характеризации их оптических свойств.
***
Sentech Instruments, GmbH (Германия) – немецкая компания, занимающаяся разработкой, производством и продажей по всему миру оборудования для плазменного травления, плазменно-химического осаждения из газовой фазы (PECVD), атомно-слоевого осаждения (ALD), измерений тонких пленок (спектроскопическая эллипсометрия, спектроскопическая рефлектометрия и лазерная эллипсометрия) и фотовольтаики.
Команда ученых из Университета Чикаго создала квантовый материал, называемый экситонным конденсатом, используя 53-кубитный процессор IBM Quantum Hummingbird
В НОЦ ФМН созданы серебряные пленки, улучшающие свойства с течением времени. Материал найдет применение в области нанофотоники, оптики, квантовых вычислений и коммуникаций.
Илья Родионов рассказал участникам и гостям форума о ключевых достижениях НОЦ ФМН в области квантовых вычислений - одного из ключевых направлений технологического развития России.