Ввод в эксплуатацию спектроскопического эллипсометра Sentech SER 800-C, Sentech Instruments GmbH (Германия)

15 декабря 2016 года
В НОЦ ФМН введен в эксплуатацию спектроскопический эллипсометр SER 800-C компании Sentech Instruments, GmbH (Германия). Были проведены приемо-сдаточные испытания на образцах оксида кремния на кремнии SiO2 (~102,0 нм) / Si, монокристаллического серебра на кремнии Ag (~25,0 нм) / Si, ALD-сапфира на UV-Grade Al2O3 (~30,0 нм)/UV-Grade.

Sentech Instruments SER 800-C Карта поверхности нанесенного резиста SU8, снятая на эллипсометре Sentech SER 800-C

Характеристики эллипсометра:
  • Спектральный диапазон: от 240 до 1000 нм;
  • Точность измерения толщин: 0,01 нм на SiO2 (~102,0 нм)/Si;
  • Точность измерения коэффициента преломления: ~ 5×10-4 на SiO2 (~102,0 нм)/Si;
  • Диапазон измерения толщин: от 0,1 нм до 100 мкм;
  • Углы падения: от 40° до 90° с шагом 5°;
  • Возможность измерения локальных областей размером: 200 мкм2;
  • Возможность снятия карты поверхности;
  • Модуль измерения на пропускание.

Спектроскопическая эллипсометрия – оптический метод, основанный на анализе поляризации отраженного света от образца. Спектроскопическая эллипсометрия используется для исследования физико-химических свойств, определения толщин поверхностных слоев, однослойных и многослойных структур, а также характеризации их оптических свойств.

Sentech Instruments, GmbH (Германия) – немецкая компания, занимающаяся разработкой, производством и продажей по всему миру оборудования для плазменного травления, плазменно-химического осаждения из газовой фазы (PECVD), атомно-слоевого осаждения (ALD), измерений тонких пленок (спектроскопическая эллипсометрия, спектроскопическая рефлектометрия и лазерная эллипсометрия) и фотовольтаики.

НОЦ ФМН - совместный технологический центр МГТУ им. Н.Э. Баумана и ФГУП «ВНИИА», который поддерживает и обеспечивает реализацию передовых практических исследований в области элементной базы на новых физических принципах, нанофотоники и оптики, биоаналитических платформ типа «лаборатория на чипе», систем рекуперации энергии на базе МЭМС и тонкопленочных технологий. Исследования в центре выполняются с использованием комплексов оборудования, объединенных в единый технологический кластер, а также на оборудовании, приобретаемом в рамках динамично развивающегося промышленного консорциума.

МГТУ им. Н.Э.Баумана - один из крупнейших государственных технических университетов и научных центров России и Европы. Обучение в МГТУ им. Н.Э. Баумана ведется на 19 факультетах дневного отделения. Существует 2 филиала МГТУ в Калуге и Дмитрове, а так же техникум. Основными структурными подразделениями университета являются научно-учебные комплексы, имеющие в своем составе факультет и научно-исследовательский институт.

Все новости