О центре
О центре

Ввод в эксплуатацию спектроскопического эллипсометра Sentech SER 800-C, Sentech Instruments GmbH (Германия)

15 декабря 2016 года
В НОЦ ФМН введен в эксплуатацию спектроскопический эллипсометр SER 800-C компании Sentech Instruments, GmbH (Германия). Были проведены приемо-сдаточные испытания на образцах оксида кремния на кремнии SiO2 (~102,0 нм) / Si, монокристаллического серебра на кремнии Ag (~25,0 нм) / Si, ALD-сапфира на UV-Grade Al2O3 (~30,0 нм)/UV-Grade.

Sentech Instruments SER 800-C Карта поверхности нанесенного резиста SU8, снятая на эллипсометре Sentech SER 800-C

Характеристики эллипсометра:
  • Спектральный диапазон: от 240 до 1000 нм;
  • Точность измерения толщин: 0,01 нм на SiO2 (~102,0 нм)/Si;
  • Точность измерения коэффициента преломления: ~ 5×10-4 на SiO2 (~102,0 нм)/Si;
  • Диапазон измерения толщин: от 0,1 нм до 100 мкм;
  • Углы падения: от 40° до 90° с шагом 5°;
  • Возможность измерения локальных областей размером: 200 мкм2;
  • Возможность снятия карты поверхности;
  • Модуль измерения на пропускание.

Спектроскопическая эллипсометрия – оптический метод, основанный на анализе поляризации отраженного света от образца. Спектроскопическая эллипсометрия используется для исследования физико-химических свойств, определения толщин поверхностных слоев, однослойных и многослойных структур, а также характеризации их оптических свойств.

Sentech Instruments, GmbH (Германия) – немецкая компания, занимающаяся разработкой, производством и продажей по всему миру оборудования для плазменного травления, плазменно-химического осаждения из газовой фазы (PECVD), атомно-слоевого осаждения (ALD), измерений тонких пленок (спектроскопическая эллипсометрия, спектроскопическая рефлектометрия и лазерная эллипсометрия) и фотовольтаики.

НОЦ ФМН - совместный технологический центр МГТУ им. Н.Э. Баумана и ФГУП «ВНИИА», который поддерживает и обеспечивает реализацию передовых практических исследований в области элементной базы на новых физических принципах, нанофотоники и оптики, биоаналитических платформ типа «лаборатория на чипе», систем рекуперации энергии на базе МЭМС и тонкопленочных технологий. Исследования в центре выполняются с использованием комплексов оборудования, объединенных в единый технологический кластер, а также на оборудовании, приобретаемом в рамках динамично развивающегося промышленного консорциума.

МГТУ им. Н.Э.Баумана - один из крупнейших государственных технических университетов и научных центров России и Европы. Обучение в МГТУ им. Н.Э. Баумана ведется на 19 факультетах дневного отделения. Существует 2 филиала МГТУ в Калуге и Дмитрове, а так же техникум. Основными структурными подразделениями университета являются научно-учебные комплексы, имеющие в своем составе факультет и научно-исследовательский институт.

Все новости
В НОЦ ФМН созданы сверхпроводниковые кубиты-трансмоны мирового уровня с временем когерентности в 50 микросекунд
В НОЦ ФМНС созданы сверхпроводниковые кубиты‑трансмоны мирового уровня с временем когерентности в 50 микросекунд
Инженеры и ученые МГТУ им. Н.Э. Баумана и ФГУП «ВНИИА» ГК «Росатом» на базе совместного НОЦ «Функциональные Микро/Наносистемы» (НОЦ ФМН), в кооперации с учеными ИФТТ РАН, МИСиС, МФТИ, РКЦ и НГТУ, разработали технологию создания сверхпроводниковых кубитов со «временем жизни» на уровне 50 микросекунд. Полученные результаты не уступают параметрам квантовых процессоров лучших мировых аналогов от IBM, Google, Intel. Это важнейший шаг на пути к созданию российского универсального квантового компьютера. Ключевые игроки зарождающегося рынка квантовых вычислений выбрали в качестве технологической платформы именно сверхпроводниковые кубиты.
Визит делегации концерна Carl Zeiss и холдинга ОПТЭК
Визит делегации концерна Carl Zeiss и холдинга ОПТЭК
3 ноября прошла встреча с руководством концерна Carl Zeiss и холдинга ОПТЭК. В составе делегации - T. Spitzepfeil – член совета правления концерна, U. Hoffmann – член совета правления концерна, M. Hubensack – президент Zeiss Meditec, J. Novoa – руководитель развития сети региональных партнеров Carl Zeiss Microscopy, G. Bauhammer – менеджер по развитию бизнеса Carl Zeiss Microscopy в РФ, О. Середкина – генеральный директор ООО «ОПТЭК», М. Игельник – управляющий холдинга OPTEC Group, Николас фон Корфф – финансовый директор холдинга OPTEC Group, В. Власенко – директор департамента научного и промышленного материаловедения ООО ОПТЭК, А. Ульяненков – директор департамента междисциплинарных проектов.
Отмечаем год эффективного сотрудничества компании «Маппер» и НОЦ ФМН
Отмечаем год эффективного сотрудничества с компанией «Маппер»
Сложившееся взаимодействие является взаимным – за прошедший год эффективного сотрудничества организации неоднократно «обменялись» заказами на изготовление уникальных изделий и технологических операций...
Modeling of Thermoelectric Generator Power Characteristics for Motorcycle-Type Engines Опубликована работа
Опубликована наша новая статья в журнале "Journal of Electronic Materials"
Modeling of Thermoelectric Generator Power Characteristics for Motorcycle-Type Engines В статье представлена модель для расчёта эксплуатационных характеристик термоэлектрических генераторов для малокубатурных двигателей внутреннего сгорания транспортных средств (например, мотоцикл, квадроцикл или снегоход). Их применение отрывает возможности для получения дополнительной электроэнергии путем утилизации тепловой мощности выхлопных газов. Установка ТЭГ на выхлопной трубе существенно проще, чем замена штатного электро-механического генератора из-за весьма плотной копоновки двс мотоциклетного типа. Разработанная модель позволяет определить основные эксплуатационные характеристики ТЭГ (электрическую мощность, КПД, и массу) при различных вариантах использования. Расчёты выполнены для нескольких компоновок ТЭГ, предложенных для ДВС Yamaha WR450F.
Численное моделирование процессов тепломассопереноса в микрофлюидном тепловом датчике потока Опубликована работа
Опубликована наша новая статья в журнале "Вестник Московского государственного технического университета им. Н.Э. Баумана"
Численное моделирование процессов тепломассопереноса в микрофлюидном тепловом датчике потока ВЕСТНИК МОСКОВСКОГО ГОСУДАРСТВЕННОГО ТЕХНИЧЕСКОГО УНИВЕРСИТЕТА ИМ. Н.Э. БАУМАНА СЕРИЯ: ПРИБОРОСТРОЕНИЕ #5(116)/2017