Разработана технология изготовления нанокристаллических пленок серебра

5 декабря 2016 года

В рамках проекта «Наноплазмоника» разработан процесс формирования нанокристаллических серебряных пленок со средним размером кристаллита менее 20 нм методом электронно-лучевого испарения. При этом среднегеометрическая шероховатость получаемых пленок не превышает 1 нм. Это обеспечивает снижение потерь при распространении плазмонов, что повышает шансы создания эффективных устройств для практического применения. Разработка продолжает цикл работ по новым методам формирования пленок серебра на прозрачных подложках для применения в наноплазмонике и оптике.

СЭМ изображение поверхности нанокристаллической пленки серебра Нанокристаллические пленки

Технология совместима с подложками кварца, сапфира, кремния, слюды. Для нанокристаллической структуры размер зерна заметно меньше формируемой в пленки топологии, что позволяет избежать анизотропии при травлении топологии устройств. Преимуществом разработанной технологии является также и то, что пленки остаются стабильными (не деградируют) при проведении дальнейших технологических операций формирования устройств.

НОЦ ФМН - совместный технологический центр МГТУ им. Н.Э. Баумана и ФГУП «ВНИИА», который поддерживает и обеспечивает реализацию передовых практических исследований в области элементной базы на новых физических принципах, нанофотоники и оптики, биоаналитических платформ типа «лаборатория на чипе», систем рекуперации энергии на базе МЭМС и тонкопленочных технологий. Исследования в центре выполняются с использованием комплексов оборудования, объединенных в единый технологический кластер, а также на оборудовании, приобретаемом в рамках динамично развивающегося промышленного консорциума.

МГТУ им. Н.Э.Баумана - один из крупнейших государственных технических университетов и научных центров России и Европы. Обучение в МГТУ им. Н.Э. Баумана ведется на 19 факультетах дневного отделения. Существует 2 филиала МГТУ в Калуге и Дмитрове, а так же техникум. Основными структурными подразделениями университета являются научно-учебные комплексы, имеющие в своем составе факультет и научно-исследовательский институт.

Все новости