Разработана технология изготовления нанокристаллических пленок серебра

5 декабря 2016 года

В рамках проекта «Наноплазмоника» разработан процесс формирования нанокристаллических серебряных пленок со средним размером кристаллита менее 20 нм методом электронно-лучевого испарения. При этом среднегеометрическая шероховатость получаемых пленок не превышает 1 нм. Это обеспечивает снижение потерь при распространении плазмонов, что повышает шансы создания эффективных устройств для практического применения. Разработка продолжает цикл работ по новым методам формирования пленок серебра на прозрачных подложках для применения в наноплазмонике и оптике.

СЭМ изображение поверхности нанокристаллической пленки серебра Нанокристаллические пленки

Технология совместима с подложками кварца, сапфира, кремния, слюды. Для нанокристаллической структуры размер зерна заметно меньше формируемой в пленки топологии, что позволяет избежать анизотропии при травлении топологии устройств. Преимуществом разработанной технологии является также и то, что пленки остаются стабильными (не деградируют) при проведении дальнейших технологических операций формирования устройств.

Все новости
Новая статья в Coatings Опубликована работа
Новая статья в Coatings
В НОЦ ФМН созданы серебряные пленки, улучшающие свойства с течением времени. Материал найдет применение в области нанофотоники, оптики, квантовых вычислений и коммуникаций.